Open Access
Numéro
2013
UVX2012 - 11e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents
Numéro d'article 01002
Nombre de pages 5
Section Présentations invitées
DOI https://doi.org/10.1051/uvx/201301002
Publié en ligne 9 avril 2013
  1. Iternational Technology Roadmap for semiconductors, http://www.itrs.net/
  2. http://www.cxro.lbl.gov/
  3. S.V. Zakharov, P. Choi, V.S. Zakharov, Proceeding of SPIE (Editeur : Bruno M. La fontaine) 7636 3A (2010)
  4. J. Pankert, K. Bergmann, J. Klein, W. Neff, O. Rosier, S. Seiwert, C. Smith, S. Probst, D. Vaudrevange, G. Siemons, R. Apetz, J. Jonkers, M. Loeken, E. Bosh, G. Derra, T. Krücken. P. Zink. Proceeding of SPIE, vol 5037 (2003)