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Open Access
Numéro
2013
UVX2012 - 11e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents
Numéro d'article 01002
Nombre de pages 5
Section Présentations invitées
DOI https://doi.org/10.1051/uvx/201301002
Publié en ligne 9 avril 2013
  1. Iternational Technology Roadmap for semiconductors, http://www.itrs.net/ [Google Scholar]
  2. http://www.cxro.lbl.gov/ [Google Scholar]
  3. S.V. Zakharov, P. Choi, V.S. Zakharov, Proceeding of SPIE (Editeur : Bruno M. La fontaine) 7636 3A (2010) [Google Scholar]
  4. J. Pankert, K. Bergmann, J. Klein, W. Neff, O. Rosier, S. Seiwert, C. Smith, S. Probst, D. Vaudrevange, G. Siemons, R. Apetz, J. Jonkers, M. Loeken, E. Bosh, G. Derra, T. Krücken. P. Zink. Proceeding of SPIE, vol 5037 (2003) [Google Scholar]