| Numéro |
2013
UVX2012 - 11e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents
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| Numéro d'article | 01002 | |
| Nombre de pages | 5 | |
| Section | Présentations invitées | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/uvx/201301002 | |
| Publié en ligne | 9 avril 2013 | |
Performances d'une source de rayonnement extrême ultraviolet (EUV) par décharge capillaire à effet cathode creuse
1 EPPRA SAS, 16 Av. du Québec, SILIC 706, 91140 Villebon-sur-Yvette, France
2 RRC Institut Kurchatov, Moscou, Russie
Depuis Plusieurs années, les sources de rayonnement Extrême Ultraviolet (EUV) suscitent un intérêt de plus en plus considérable pour de nombreuses applications scientifiques et technologiques. A Eppra, nous développons une source de rayonnement nommée Cyclops émettant dans le domaine de l'extrême ultraviolet EUV et des X mous destinée aux applications liées à la nouvelle génération de lithographie et à la biologie. Le principe de cette source pulsée consiste en une décharge capillaire assistée par effet cathode creuse. Le taux de répétition de la source peut atteindre 5 kHz. Nous soulignons que le fonctionnement de la source à haute cadence et à forte énergie injectée engendre une surchauffe de certains composants de la source et limite ainsi sa durée de vie. Dans cet article, il serait question de présenter les principales performances de cette source en particulier les résultats en terme d'éclairement, d'étendue spectrale et de puissance dans une bande passante de 3 nm autour de 13,4 nm.
© Owned by the authors, published by EDP Sciences, 2013
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