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Dopage laser en microélectronique
J. Phys. IV France, 138 (2006) 203-212
Publié en ligne : 6 janvier 2007
UVX - Colloques sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récents
L'objectif de la série de colloques UVX est de réunir, au rythme d'une fois tous les deux ans, les scientifiques et industriels travaillant dans le domaine du développement des sources de photons de grande énergie (UV, VUV, et X) et de leurs applications.
En particulier cette manifestation est l'occasion de faire se rencontrer une communauté très pluridisciplinaire (physique, chimie, biologie, sciences de l'univers) liée à des domaines en forte évolution technologique (lasers, optique, matériaux notamment).
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Open Access
SOLEIL tient ses promesses : état d'avancement et premiers résultatsPublié en ligne : 7 juillet 2009
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Le dépôt de films minces par ablation laser : un procédé confiné à des niches industrielles ?J. Phys. IV France, 09 PR5 (1999) PR5-125-PR5-130
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Dopage laser pour la microélectronique du futurJ. Phys. IV France, 11 PR7 (2001) Pr7-103-Pr7-106
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Couches minces de Si1-xGex déposées par la technique d'ablation laserAnn. Phys. Fr., 19 (1994) C1-39-C1-40
Publié en ligne : 1 juin 2004
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UVX 2012 - 11e Colloque sur les Sourc…
UVX2012 - 11e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents
E. Constant, P. Martin et H. Bachau (Eds.)
UVX 2010 - 10e Colloque sur les Sourc…
UVX 2010 - 10e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents
A. Calisti, C. Mossé et S. Ferri (Eds.)
UVX 2008 - 9e Colloque sur les Source…
UVX 2008 - 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents
S. Jacquemot, A. Klisnick et Th. Ruchon (Eds.)