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| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 138, December 2006
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|---|---|---|
| Page(s) | 213 - 221 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:2006138024 | |
| Publié en ligne | 6 janvier 2007 | |
8e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X :
Applications et développements récents
R. Moncorgé et J.L. Doualan
J. Phys. IV France 138 (2006) 213-221
DOI: 10.1051/jp4:2006138024
1 LP3 - UMR 6182 CNRS, Université de la Méditerranée, Campus de Luminy, Case 917, 13288 Marseille Cedex 9, France
2 Centre de Microélectronique de Provence (CMP-GC), École des Mines de St. Étienne, Département Packaging et Supports Souples (PS2), 13541 Gardanne, France
(Publié en ligne le 6 janvier 2007)
© EDP Sciences 2006
R. Moncorgé et J.L. Doualan
J. Phys. IV France 138 (2006) 213-221
DOI: 10.1051/jp4:2006138024
Ablation laser pour la microélectronique plastique
A.-P. Alloncle1, B. Thomas1, D. Grojo1, Ph. Delaporte1, M. Sentis1, S. Sanaur2, M. Barret2 and Ph. Collot21 LP3 - UMR 6182 CNRS, Université de la Méditerranée, Campus de Luminy, Case 917, 13288 Marseille Cedex 9, France
2 Centre de Microélectronique de Provence (CMP-GC), École des Mines de St. Étienne, Département Packaging et Supports Souples (PS2), 13541 Gardanne, France
(Publié en ligne le 6 janvier 2007)
Résumé
La microélectronique plastique connaît un
développement sans précédent dans le domaine de la
recherche. Cette étude s'intéresse à l'utilisation des
lasers impulsionnels pour la réalisation de composants
organiques sur supports souples. Les deux aspects plus
particulièrement étudiés sont d'une part la gravure de
polymère pour réaliser un canal entre la source et le drain,
et d'autre part le développement d'un procédé de
dépôt appelé LIFT pour Laser Induced Forward Transfer.
Ce dernier pourrait notamment permettre de déposer des
composés organiques non solubles.
© EDP Sciences 2006