UVX - Colloques sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récents

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Fabrication of microcraters on silicon substrate by UV nanosecond photonic nanojets from microspheres

K.L.N. Deepak, D. Grojo, L. Charmasson, P. Delaporte, O. Utéza, M. Dussauze et E. Fargin

Publié en ligne : 9 avril 2013

DOI: 10.1051/uvx/201302003

K.L.N. Deepak

D. Grojo

L. Charmasson

P. Delaporte

O. Utéza

M. Dussauze

E. Fargin

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