UVX - Colloques sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récents

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Dopage laser en microélectronique

T. Sarnet, M. Hernandez et D. Débarre

J. Phys. IV France, 138 (2006) 203-212

Publié en ligne : 6 janvier 2007

DOI: 10.1051/jp4:2006138023

T. Sarnet

M. Hernandez

D. Débarre

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