UVX - Colloques sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récents

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Performances d'une source de rayonnement extrême ultraviolet (EUV) par décharge capillaire à effet cathode creuse

O. Sarroukh, P. Choi, O. Benali, S. Zakharov, V. S. Zakharov et C. Dumitrescu

Publié en ligne : 9 avril 2013

DOI: 10.1051/uvx/201301002

O. Sarroukh

P. Choi

O. Benali

S. Zakharov

V. S. Zakharov

C. Dumitrescu

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