8e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récents
R. Moncorgé et J.L. Doualan
J. Phys. IV France 138 (2006) 259-264
DOI: 10.1051/jp4:2006138030

Réflectomètre à large spectre EUV pour la métrologie d'optiques

Ch. Hecquet¹, M. Roulliay², F. Delmotte¹, M.F. Ravet-Krill¹, A. Hardouin¹ and M. Idir<sup>3, 4

1</sup>  Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique, CNRS, Université Paris-Sud, Campus Polytechnique, RD 128, 91127 Palaiseau Cedex, France
²  Laboratoire d'Interaction du Rayonnement X avec la Matière, UMR CNRS 8624, Centre Scientifique, Bât. 350, Université Paris-Sud, 91405 Orsay, France
³  Synchrotron SOLEIL, L'Orme des Merisiers, Saint-Aubin, BP 48, 91192 Gif-sur-Yvette Cedex, France
⁴  Laboratoire d'Optique Appliquée, ENSTA, École Polytechnique, Chemin de la Hunière, 91761 Palaiseau Cedex, France

(Publié en ligne le 6 janvier 2007)

Résumé
Le Laboratoire Charles Fabry conçoit de nombreuses optiques dont certaines pour les applications dans le spectre EUV. Pour les besoins de caractérisation, il est nécessaire de posséder une métrologie à la longueur d'onde d'utilisation proche des moyens de fabrication. Ceci permet d'étudier les composants dès leur conception et de caractériser les optiques. Nous présentons ici les performances d'un réflectomètre automatisé EUV large spectre. Il a été développé dans le cadre de la centrale CEMOX¹, initiée par le pôle PRaXO².

© EDP Sciences 2006