Métrologie d'indice par interférométrie EUV

Résumé
Nous décrivons la détermination directe des indices de matériaux en fonction de la longueur d'onde par interférométrie dans la gamme spectrale EUV (10-50 nm). L'interféromètre de type division de front d'onde est un bimiroir de Fresnel. Le principe consiste à mesurer le décalage des franges entre le côté de l'interférogramme qui a vu l'échantillon et le côté référence sans échantillon. Une analyse de Fourier permet d'extraire l'épaisseur optique du matériau. Nous présentons les premiers résultats de la mesure d'indice du molybdène avec l'instrument réalisé.