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| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 127, June 2005
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|---|---|---|
| Page(s) | 69 - 75 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:2005127011 | |
J. Phys. IV France 127 (2005) 69-75
DOI: 10.1051/jp4:2005127011
Optiques multicouches pour l'extrême UV
F. Delmotte, J. Gautier, M.F. Ravet, F. Bridou and A. JeromeLaboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique, CNRS-UMR 8501, Bât. 503, Centre Scientifique d'Orsay, 91403 Orsay Cedex, France
Résumé
Nous présentons les principaux
développements réalisés dernièrement en optique multicouches
dans la gamme 30-50 nm. Autour de 30 nm, nous avons développé des
multicouches à bande passante étroite dans le but de
sélectionner une harmonique dans un spectre de source à
génération d'harmonique d'ordre élevée. Dans cette même
gamme spectrale, nous avons étudié des structures périodiques,
à trois matériaux par période, qui permettent d'augmenter de
manière significative la réflectivité. Enfin, pour les longueur
d'onde plus importante (autour de 45 nm) nous avons étudié les
performances et la stabilité de multicouches à base de scandium :
Si/Sc et Si/X/Sc/X ou X représente une couche barrière.
© EDP Sciences 2005