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| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 11, Numéro PR7, Octobre 2001
5e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et XApplications et développements récents |
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| Page(s) | Pr7-127 - Pr7-128 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:2001740 | |
5e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 11 (2001) Pr7-127-Pr7-128
DOI: 10.1051/jp4:2001740
Groupement Interdisciplinaire Ablation Laser et Applications, LP3, FRE 2165 du CNRS et GPEC, UMR 6631 du CNRS, Faculté des Sciences de Luminy, Case 901, 13288 Marseille cedex 09, France
© EDP Sciences 2001
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 11 (2001) Pr7-127-Pr7-128
DOI: 10.1051/jp4:2001740
Nettoyage de surfaces de grandes dimensions par laser à excimères
M.L. Sentis, Ph. Delaporte, M. Gastaud, W. Marine and O. UtézaGroupement Interdisciplinaire Ablation Laser et Applications, LP3, FRE 2165 du CNRS et GPEC, UMR 6631 du CNRS, Faculté des Sciences de Luminy, Case 901, 13288 Marseille cedex 09, France
Résumé
Cet article présente une étude effectuée sur le nettoyage par ablation laser W de contaminants fixés à la surface de matériaux et sur le développement de systèmes laser permettant le traitement automatisé de grandes surfaces. Les conditions d'irradiation permettant la suppression des oxydes par ablation laser UV et garantissant l'innocuité du procédé ont été définies. Le dispositif de nettoyage est constihié d'un laser XeCl, d'un système de transport par fibres optiques, d'une buse d'aspiration et d'un système permettant le contrôle en temps réel de la qualité du nettoyage.
© EDP Sciences 2001