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| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 11, Numéro PR7, Octobre 2001
5e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et XApplications et développements récents |
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|---|---|---|
| Page(s) | Pr7-3 - Pr7-4 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:2001701 | |
5e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 11 (2001) Pr7-3-Pr7-4
DOI: 10.1051/jp4:2001701
1 CEA-LETI, Départements de Microtechnologies, 38054 Grenoble cedex 9, France
2 CEA-LETI, Département d'Optronique, 38054 Grenoble cedex 9, France
3 IRELEC, BP. 316, 38407 Saint-Martin-d'Hères, France
© EDP Sciences 2001
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 11 (2001) Pr7-3-Pr7-4
DOI: 10.1051/jp4:2001701
Tubes à rayons X à micropointes
R. Baptist1, J. F. Boronat2, R. Meyer2, P. Nicolas2, D. Sarrasin2, J. Duval3 and A. Baffert-Rey31 CEA-LETI, Départements de Microtechnologies, 38054 Grenoble cedex 9, France
2 CEA-LETI, Département d'Optronique, 38054 Grenoble cedex 9, France
3 IRELEC, BP. 316, 38407 Saint-Martin-d'Hères, France
Résumé
Un prototype de source à rayons X à micropointes a été réalisé puis caractérisé. L'utilisation de cathodes à micropointes à effet de champ produites par les techniques de la microélectronique ouvre un champ d'applications important pour des sources plates, adressables et multi-anodes, en particulier, dans le domaine des énergies inférieures à 10 keV.
© EDP Sciences 2001