Étude de l'expansion du panache plasma formé lors de l'interaction entre un laser ultraviolet et une cible de nitrure de bore ; application à la réalisation de couches minces
, et
Ann. Phys. Fr., 22 (1997) C1-121-C1-122
Publié en ligne : 15 février 1997
DOI: 10.1051/anphys/1997022