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Fabrication of microcraters on silicon substrate by UV nanosecond photonic nanojets from microspheres

K.L.N. Deepak, D. Grojo, L. Charmasson, P. Delaporte, O. Utéza, M. Dussauze et E. Fargin

UVX 2012 - 11e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents, (2013) 02003

DOI: https://doi.org/10.1051/uvx/201302003

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