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Fabrication of microcraters on silicon substrate by UV nanosecond photonic nanojets from microspheres

UVX 2012 - 11e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents, (2013) 02003
DOI: https://doi.org/10.1051/uvx/201302003