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Performances d'une source de rayonnement extrême ultraviolet (EUV) par décharge capillaire à effet cathode creuse

UVX 2012 - 11e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents, (2013) 01002
DOI: https://doi.org/10.1051/uvx/201301002