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SiO₂ thin-film nanopatterning by UV laser illumination of self-assembled microsphere monolayers

D. Grojo, L. Charmasson, A. Pereira, M. Sentis et Ph. Delaporte

UVX 2010 - 10e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X ; Applications et Développements Récents, (2011) 197-201

DOI: https://doi.org/10.1051/uvx/2011028

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