Recuit et gravure induits par laser sur silicium : expériences et simulations numériquesB. Bourguignon, B. Dragnea, B. Boulmer, J.-P. Budin et D. DébarreAnn. Phys. Fr., 22 (1997) C1-229-C1-236DOI: https://doi.org/10.1051/anphys/1997045