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Le projet français PREUVE, projet d'études et de développement pour la lithographie extrême ultraviolet

P. Boher, V. Paret, J.-Y. Robic, R. Marmoret, M. Schmidt, C. Cachoncinlle, R. Geyl, J.-J. Fermé, B. Vidal et J.-M. Barbiche

J. Phys. IV France, 108 (2003) 217-225

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:20030631

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